在沈阳拓荆科技股份有限公司的研发实验室里，一台台等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）正安静地运转。这些比人还高的“大家伙”，是芯片制造环节中的关键设备，曾长期被国外垄断。如今，它们不仅打上了“中国造”的烙印，更在性能上实现了从“跟跑”到“并跑”、部分“领跑”的跨越。

这场跨越的背后，站着一位扎根半导体装备研发一线超过16年的技术领军人物——于棚。2026年，这位拓荆科技PECVD产品研发副总裁荣获全国五一劳动奖章。他说：“这个奖不是给我个人的，我是有幸被选为代表。它属于每一位拓荆人。”

于棚工作中一丝不苟。王雁摄

啃最硬的骨头：让国产设备

从“被质疑”到“被信赖”

时间倒回十几年前，拓荆的设备在国内某主流芯片制造企业做产线验证。薄膜匹配性指标怎么都达不到客户要求，客户急了：“再不行，我们就换回进口。”这句话，深深刺痛了于棚。

“那不是一台设备的验证，那是国产设备能不能站住脚的事。”当天晚上，他对团队说：“过去被人卡了太多年，今天就是必须争口气的时候。”

接下来三天两夜，于棚和团队成员几乎没合眼。他们一遍遍调整工艺参数，一次次比对实验数据，从海量的曲线中捕捉细微波动。凌晨的实验室里，讨论声、键盘敲击声、设备运转声交织在一起……最终，设备不仅达到客户要求，部分性能指标甚至优于进口设备。客户后来竖起大拇指：“你们拓荆人，真能拼！”

这样的攻坚故事，在于棚的职业生涯中不止一次上演。作为我国PECVD设备研发领域的核心技术骨干，他先后参与国家“十一五”“十三五”02重大专项，主导多项核心工艺开发与设备验证。面对工艺匹配度和稳定性两大“拦路虎”，他从多角度开展理论分析，制定可行方案，成功实现“一款产品适配多种应用”，为客户提供了优秀的国产替代方案。

有人说，半导体设备是“精密中的精密”，差之毫厘，谬以千里。于棚对技术的要求近乎苛刻，每一个工艺参数、每一次实验数据都反复核对。同事们评价他是“故障侦探”——再复杂的问题，他都能从海量数据中快速锁定关键变量，抽丝剥茧、迎刃而解。

甘当“铺路石”：带出一支近百人的“铁军”

在于棚看来，半导体装备的竞争，归根到底是人才的竞争。一个人可能走得快，但一群人才能走得远。

作为研发副总裁，他从不以领导自居。技术讨论，他鼓励年轻工程师大胆假设、小心求证，谁有不同意见都可以当面“拍桌子”。他坚持“在项目中培养人、在实战中锻炼人”，手把手教新人看数据、做分析、定方案。工程师们都亲切地叫他“于师傅”。

有一年，团队里一名年轻工程师负责的设备在客户端出现异常，连续几天找不到原因，急得直掉眼泪。于棚没有批评，而是带着他坐在数据屏幕前，一条曲线一条曲线地复盘。“你看，这个温度波动虽然很小，但和薄膜均匀性的变化高度相关。问题可能出在加热模块。”顺着这个思路，团队很快锁定了故障点并成功修复。

多年来，他先后带出了一支近百人的高水平研发团队，其中多人成长为项目负责人和技术骨干。他还积极推动产学研合作，与高校、科研院所联合开发，并主动走上大学讲台，为学生们讲述行业前沿技术。他说：“中国半导体装备的崛起，需要一代又一代人接续奋斗。”

心里有束光：与“中国芯”一同成长

回顾自己走过的路，于棚用三个词形容中国半导体行业的变化：艰辛、坚持、光明。

“早期连零件都要进口，人家一句话就能断供。我们做设备验证，经常被客户质疑‘国产的行不行’？那种不被信任的感觉，比技术难题还难受。”为什么能坚持下来？“因为心里有个信念——为国争气。芯片是工业粮食，粮食不能总指望别人。”

这份信念，支撑他在研发一线一干就是16年。即便已经成长为技术专家和管理者，他依然保持着终身学习的习惯。工作之余，他坚持参加各类行业会议、技术论坛，不断拓展材料、物理、等离子体、集成工艺等方面的知识边界。他经常与国内重点客户研发部门直接对接，时刻把握行业最前沿的需求和方向。

获得全国五一劳动奖章后，于棚并没有停下脚步。他计划带领团队向更先进的工艺节点发起冲击。“拓荆的薄膜设备，还要往更先进的工艺节点走，要实现全面的领跑。这条路，我还会继续走下去，因为前方有光，身后有国。”

从被“卡脖子”到挺起脊梁，从“一穷二白”到部分领跑，于棚用16年的坚守诠释了什么是劳模精神、工匠精神。他不是一个人在战斗——在他的身后，是一支敢打硬仗的拓荆团队，是一个正在崛起的中国半导体产业。正如他常说的那句话：“梦虽遥，追则能达；愿虽艰，持则可圆。”

来源：沈阳日报（2026年04月30日 第04版）